本课题组由于项目进度需要，优化净化间电子束光刻技术（BEL），Swinburne University of Tevhnology EBL专家李西军老师应江安全老师邀请来本组做了提高光刻中套刻精度的报告，并请了技物所孟祥建老师和王建禄老师做了相关的学术交流。

此次参会人员名单有：

李西军             Professor            Swinburne University of Tevhnology

江安全 研究员 复旦大学

孟祥建 研究员 中科院技术物理研究所

王建禄 副研究员 中科院技术物理研究所

白子龙 博士研究生 复旦大学

张岩 博士研究生 复旦大学

陈东方 博士研究生 复旦大学

郭会珍 硕士研究生 复旦大学