脉冲激光沉积系统（PLD-450）   激光分子束外延系统（L-MBE）

      高能电子衍射仪（RHEED）     脉冲激光发生器（Coherent）

     原子力显微镜（布鲁克Icon）         真空管式炉

低温探针台              室温探针台

       半导体分析仪（B1500）             示波器

多功能切换开关            皮秒脉冲发生器

任意波形脉冲发生器              单温区管式炉

 连续可调光源             快速退火炉（RTP）

 反应离子刻蚀机（samco）     热蒸发台（Kurt J.Lesker）

         三靶等离子溅射仪              手套箱

 物理气相沉积系统（PVD75）     电子束光刻（EBL）-共享设备

前后道PVD-共享设备           椭偏仪-共享设备

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