Swinburne University of Tevhnology EBL专家李西军教授来本组进行学术交流

发布者:陈东方发布时间:2017-05-08浏览次数:391

本课题组由于项目进度需要,优化净化间电子束光刻技术(BEL),Swinburne University of Tevhnology EBL专家李西军老师应江安全老师邀请来本组做了提高光刻中套刻精度的报告,并请了技物所孟祥建老师和王建禄老师做了相关的学术交流。

  

此次参会人员名单有:

李西军  Professor  Swinburne University of Tevhnology

江安全  研究员        复旦大学

孟祥建  研究员     中科院技术物理研究所

王建禄  副研究员    中科院技术物理研究所

白子龙 博士研究生      复旦大学

张岩  博士研究生     复旦大学

陈东方 博士研究生     复旦大学

郭会珍 硕士研究生     复旦大学